装置の累計販売台数5,000台を達成

当社は、設立からのプラズマCVD装置やドライエッチング装置、ドライ洗浄装置などの製品販売累計5,000台を達成し、記念すべき5,000台目となるリアクティブイオンエッチング装置「RIE-200NL」を東北大学へ出荷いたします。

本装置は、東北大学西澤潤一記念研究センターにおいてマイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）が運営する共用ファシリティー「試作コインランドリ」に設置されます。外部利用者にも開放される共用設備として、CMOS回路やMEMSセンサー、光電融合分野のデバイスの研究開発のほか、実践的な人材育成に活用される予定です。

出荷にあたり、当社代表取締役社長の川邊史が同センターを訪問しました。センター長の戸津健太郎教授、森山雅昭准教授へ謝意を伝えるとともに、5,000台達成を記念したデジタル時計を進呈いたしました。

​訪問にあたり、戸津教授より以下のコメントをいただいております。

「半導体分野では、研究開発だけでなく人材育成へのニーズも高まっています。また、当施設には小片チップから8インチウェハまで多種多様なサイズの試料が持ち込まれますが、本装置はそれらに柔軟に対応できるため、幅広い利用者のニーズに応える使い勝手のよい装置になると期待しています」

写真左から：東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 森山雅昭准教授、同センター長 戸津健太郎教授、当社代表取締役社長川邊史

東北大学の試作コインランドリは、国内最大級の半導体・MEMS共用施設です。1,800㎡のクリーンルームに150台以上の半導体関連装置を備え、利用者は時間単位で装置を利用できます。経験豊富な技術スタッフによる支援のもと、東北大学のプロセス技術や試作ノウハウを活用できるのが特長で、2010年の運用開始以来、大学・研究機関・企業・スタートアップなど400以上の機関に利用されています。

当社は今後も、先端加工装置の提供を通じて、半導体・MEMS分野の研究開発と次世代技術者の育成に貢献してまいります。

＜お問い合わせ＞
サムコ株式会社
広報宣伝室　土橋 篤志
075-621-7841
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